EMO Hannover 2019, 16. bis 21. September

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    Positioniersystem - VULCANO XYZ3TH GESTAPELTE PLATTFORMEN

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    Produktbeschreibung

    Die Vulcano XYZ3TH Plattform ist die Erweiterung des Standard Vulcano XY Systems, ausgestattet mit dem kombinierten Z3TH Modul. Dieses 4 Freiheitsgrade-Modul, ermöglicht eine 364° Theta Drehbewegung, doppelte Z-Achsen, ein Grobe Achse zur Wafer Be- und Entladung und genaue Achse zur Fokuseinstellung, sowie eine Kipp- und Neige-Korrektur von ±0,1°.

    Besonderheiten
    - kompakte Grundfläche
    - Nanometer Positionsstabilität
    - hohe Dynamik: 2,5g, 1,5 m/s
    - geringe Bewegungs- und Einschwingzeiten
    - ISO1 Reinraumkompatibilität
    - Kipp-Neige-Korrektur von ±0.1°
    - doppelte Z Integration
    - eingebauter Gewichtsausgleich in Z
    - hervorragende Z Geradheit
    - verbesserte Z Wiederholgenauigkeit und Jitter
    - Möglichkeiten um die Ebenheit des Systems zu korrigieren
    - eingebauter Vakuum-Anschluss an der Aufnahmevorrichtung

    Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

    Produkt-Website

    Halle 9, Stand I32

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