EMO Hannover 2019, 16. bis 21. September

    EMO Hannover 2019, 16. bis 21. September
    Startseite>Aussteller- & Produktsuche >Positioniersystem - VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN

    Positioniersystem - VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN

    Logo Positioniersystem - VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN

    Produktbeschreibung

    Die Vulcano XYT Plattform besteht aus dem Standard Vulcano XY, ausgestattet mit dem RTTB Drehmodul, welches einen hochauflösenden Encoder beinhaltet, angebunden an ein hervorragendes mechanisches Lager. Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet aber nicht begrenzt für:
    - Wafer-Prozess-Kontroll Applikationen, wie z.B. Overlay Metrologie, " Critical Dimension" und Thin film Metrologie.
    - Back-end: spezielle Flip-Chip Prozesse welche auf großen Elementen/Substraten ausgeführt werden.

    Eigenschaften
    - kompakte Grundfläche
    - Nanometer Poitionsstabilität
    - kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten
    - hohe Dynamik
    - hohe bidirektionale Wiederholgenauigkeit
    - hohe Positionsstabilität
    - ISO class 1 Reinraumkompatibilität

    Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

    Produkt-Website

    Halle 9, Stand I32

    Weitere Produkte von ETEL

    Mehr anzeigen

    Auf der Merkliste

    0

    Das Merken ist fehlgeschlagen, da ein Problem mit der Verbindung zum Server aufgetreten ist.