EMO Hannover 2019, 16. bis 21. September

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    Kombiniertes Modul - ZT KOMBINIERTES MODUL

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    Produktbeschreibung

    Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc.

    Eigenschaften
    - Endlose Drehbewegung
    - Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung
    - Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich
    - ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung
    - Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung
    - Version ohne grobe Z Achse möglich
    - Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und Einschwingverhalten

    Hauptspezifikationen
    - Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,3 µm für Z und ±2 arcsec für T
    - Positionsgenauigkeit: ±0,6 µm für Z und ±30 arcsec für T
    - Geschwindigkeiten: 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T
    - Beschleunigung bis zu: 0,2 g für Z und 104,7 rad/s² für T
    - Positionsstabilität: ±5 nm für Z und ±0,2 arcsec für T
    - Lastkapazität: 1 kg

    Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

    Produkt-Website

    Halle 9, Stand I32

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