EMO Hannover 2019, 16. bis 21. September
ETEL
Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc. Eigenschaften- Endlose Drehbewegung - Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung - Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich- ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung - Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung - Version ohne grobe Z Achse möglich - Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und EinschwingverhaltenHauptspezifikationen- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,3 µm für Z und ±2 arcsec für T- Positionsgenauigkeit: ±0,6 µm für Z und ±30 arcsec für T- Geschwindigkeiten: 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T- Beschleunigung bis zu: 0,2 g für Z und 104,7 rad/s² für T- Positionsstabilität: ±5 nm für Z und ±0,2 arcsec für T- Lastkapazität: 1 kgWeitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
Die Z3TM erweitert das Portfolio an Modulen für Bewegungsplattformen. Dieses Modul fügt vier unabhängige Freiheitsgrade hinzu, nämlich entlang einer Dreh-, einer ... mehr
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CHARON2 gestapelte Plattformen Die CHARON2-Plattform basiert auf einer robusten, zuverlässigen und elegant gestapelten Architektur, die nach den Prinzipien der ... mehr
ZAO ist ein Antrieb der eine reibungsfreie Lageranordnung und geringe bewegte Massen beinhaltet. Dadurch sollen Applikationen mit sehr kleinen und re-produzierbaren ... mehr
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Die Vulcano XYT Plattform besteht aus dem Standard Vulcano XY, ausgestattet mit dem RTTB Drehmodul, welches einen hochauflösenden Encoder beinhaltet, angebunden ... mehr
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