EMO Hannover 2019, 16. bis 21. September
ETEL
Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc. Eigenschaften- Endlose Drehbewegung - Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung - Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich- ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung - Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung - Version ohne grobe Z Achse möglich - Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und EinschwingverhaltenHauptspezifikationen- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,3 µm für Z und ±2 arcsec für T- Positionsgenauigkeit: ±0,6 µm für Z und ±30 arcsec für T- Geschwindigkeiten: 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T- Beschleunigung bis zu: 0,2 g für Z und 104,7 rad/s² für T- Positionsstabilität: ±5 nm für Z und ±0,2 arcsec für T- Lastkapazität: 1 kgWeitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
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CHARON2 gestapelte Plattformen Die CHARON2-Plattform basiert auf einer robusten, zuverlässigen und elegant gestapelten Architektur, die nach den Prinzipien der ... mehr
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